Wpływ natężenia oświetlenia w profilometrze optycznym na wyniki pomiarów struktury geometrycznej powierzchni

Influence of light intensity in optical profilometer on measurement results of surface topography

Andrzej Dzierwa

Politechnika Rzeszowska, Rzeszów, Polska
Streszczenie

W pracy badano wpływ doboru natężenia oświetlenia na wyniki pomiarów parametrów struktury geo- metrycznej powierzchni, jak również wpływ tegoż natężenia na liczbę punktów niezmierzonych z wy- korzystaniem interferometru światła białego Talysurf CCI Lite. Badaniu poddano powierzchnie próbek: anizotropowe, izotropowe oraz mieszane. Natężenie oświetlenia zmieniano w zakresie od 10 do 90%, każdorazowo co 5%. Określono wpływ zmiany natężenia oświetlenia na jakość pomiaru oraz na zmianę wartości parametrów struktury geometrycznej powierzchni. Parametr Smr oraz parametry z grupy cech są najbardziej wrażliwe na zmianę natężenia oświetlenia, nawet jeśli liczba punktów niezmierzonych nie przekracza 10%.

Ten isotropic, anisotropic and mixed surface topographies were analysed. Surface measurements were made using white light interferometer Talysurf CCI Lite. All surfaces were measured with different light intensity. Light intensity was changed in the range of 10%-90% every time at 5%. Parameters from ISO 25178 group were calculated. Parameters were calculated using the software Talymap Gold, version 6.0. Influence of light intensity on the change of surface topography parameters was analysed. The functional parameter Smr and feature parameters are the most sensitive to light intensity even if num- ber of non-measured points was smaller than 10%.

Słowa kluczowe
profilometr optyczny; struktura geometryczna powierzchni; natężenie oświetlenia; optical profilometer; surface topography; light intensity
Aparatura Badawcza i Dydaktyczna (2017) 22: 227-235
Data pierwszej publikacji on-line: 2017-12-29 17:41:20
Pełny tekst (.PDF) Statystyki Powrót do listy